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上海和呈推出带预处理系统的HMDS真空干燥箱
点击次数:3484 发布时间:2014-7-25
 
     经过和呈研发部的一致努力,上海和呈顺应市场需要推出了带有预处理系统的HMDS真空干燥箱,这款HMDS-6000系列预处理系统通过对干燥箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

   该系列干燥箱属非标定制,需要来电咨询TEL:400-880-6667.

  
本文以HMDS-6210为例进行说明。

型号:HMDS-6210
电源电压:AC 380V±10%/50Hz±2%
输入功率:4000W
控温范围:室温+10℃-250℃
温度分辨率:0.1℃
温度波动度:±0.5℃
达到真空度:133Pa
容积:210L
工作室尺寸(mm):560*640*600
外形尺寸(mm):720*820*1750
载物托架:3块
时间单位:分钟
真空泵:国内最好品牌,上海“慕鸿”型号:DM-4,旋片式油泵。

    真空干燥箱
    真空干燥箱

产品特点:

1、干燥箱机外壳采用医用级不锈钢316L材质制造,内胆为不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。

2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。

3、微电脑智能控温仪,具有设定,测定温度双数字显示和PID自整定功能,控温精确,可靠。

4、智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序,温度,真空度及每一程序时间。

5、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。

6、整个系统采用优质材料制造,无发尘材料,适用100 级光刻间净化环境。

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